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DFS4000系列质量流量计简介
产品概述:
DFS4000是采用的微机电系统流量传感器技术和智能电子控制技术，专为普通气体流量监测开发的产品。该传感器能直接测量气体质量流量，低压损。适用于净化空气或氮气流量监控，还可用于环境采样器（如色谱分析仪器等）。
DFS4003流量传感器，管道内径为3mm，成本低测量范围较大到5SLPM；适用于粒子计数器和各类分析仪器。
DFS4008流量传感器，管道内径为8mm，测量范围较大到50SLPM；可用于麻醉设备、洁净气体检测，如：空气采样机，气体分析仪等
产品特点:
- 专为管径3mm和8mm的气管中的低压气体流量测量而设计；
- 支持多种连接方式，易于安装与使用；
- 传感芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，了传感器的高精度计量；
- 在单个芯片上实现了多传感器集成，使其量程比达到了100:1甚至更高；
- 输出方式灵活，既可通过通讯接口主动上传数据或由上位机查询输出数据，也可通过模拟接口输出线性的模拟电压；
- 零点稳定度高；
- 全量程高稳定性、高度和优良的重复性；
- 低功耗、低压损；
- 响应速度快；
产品技术参数:
性能参数
DFS4003
DFS4008
单位
通 径
3
8
mm
较大流量
2, 3, 4, 5
10, 20, 30, 40, 50
SLPM
量程比
100:1
精 度
±(1.5 0.2FS)
%
重复性
0.75
%
零点输出飘移
±30
mV
输出飘移
0.12
%/oC
响应时间
100
ms
工作电源
8~18Vdc,100mA
输出方式
线性，RS232/模拟电压0.5~4.5Vdc
较大流量压损
100
600
pa
较大工作压力
0.5
MPa
工作温度
-10 ~ 55
oC
存储温度
-20 ~ 65
oC
工作湿度
<95%RH（无结冰、无凝露）
机械接口
BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接头
校准方式
空气（或其他气体），20oC，101.325kPa
重量
57（带R1/4,BSPT1/4接口）
71(带4mm，8mm快速接口，68（带6mm快速接头)
g
